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不同種類的真空泵壓強規模也不一樣,今天真空泵廠家為您介紹一下。真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的辦法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器材或設備。淺顯來講,真空泵是用各種辦法在某一關閉空間中改進、產生和維持真空的設備。
真空泵種類 工作壓強規模(Pa) 起動壓強(Pa)
活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105
旋片真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
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