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公司新聞

為大家詳細的說說什么是爪式泵

2019/6/14    來源:    作者:佚名  閱讀:次  【打印此頁】

  爪式泵是為半導體工業展開而研制的,它有如下一些特征:泵腔內無潤滑劑,因而無返油現象發生;抽氣原件為非接觸式的可完結高速作業(3000r/min);與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損;在泵腔內氣流筆直運動,少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于打掃。



  該泵型式多樣,功用可以擴展,泵的主體,帶有齒輪、馬達以及氣體凈化設備,附件有進口處防反流的閥門,出口處有截流閥,電氣監控及報警裝置;齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑,上端蓋內的軸承用PFPE油脂潤滑。

  第二、三、四級均有凈化氣體進口,以改善被抽介質順利通過泵腔,無此需求的可以不用通凈化氣體,凈化氣體用三個流量計分,別調度,互相都是獨立的,以確保節約惰性氣體,運用三個電磁閥可微調其流量。

  進口防返流閥能將被抽容器與泵腔距離,出口處截流閥能將泵的出口關閉起來,將泵通以凈化氣體,這些閥可自動開關,真空系統有可靠的保護,杜絕了向真空室的返流,電氣監控與操作,主要有電源,遠距離操作和開關閥等的控制。

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